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等离子清洗机中的低温等离子体有何含义?

点击次数:45 发布时间:2020-08-10
   等离子清洗机与传统清洗方法相比全自动在线处理节约人工,处理温度低,无危险,灵活搭配流水线配套生产,同时用真空等离子清洗机可对各种材料进行活化处理。
  等离子清洗机在众多应用领域“肉眼可见”的优势:
  1.FPD
  LCD,LTPS,OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备,不需要真空排气。采用均匀大气压等离子,以大气压等离子的问题点的产生为准则阻断,基板上无损坏的表面清洗工艺。另外多元电极和原有大气压等离子技术相比,扩张性较容易。
  2.TSP
  触摸屏的主要工艺的清洗,提高OCA/OCR,压层,ACF,AR/AF涂层等工艺上的粘合力/涂层力,为去除气泡/异物,通过多种大气压等离子形态的运用,可以将各种玻璃,薄膜均匀的大气压等离子放电使表面无损坏进行处理。
  3.半导体
  半导体成型工艺,刻模工艺&焊接工艺,焊球连接&安装工艺的广泛使用可以提高芯片和环氧间的粘结力,和引线框架的安装和粘接力,板材和焊球之间的粘结力。防止半导体特性上的电气损坏或者容易发生的静电问题,可以采用多元系统技术。另外,因为可以根据硅片的大小制造大气压等离子,无论多小的等离子都可以适用。
  等离子体是具有高位能动能的气体团,等离子体的总带电量仍是中性,借由电场或磁场的高动能将外层的电子击出,结果电子已不再被束缚于原子核,而成为高位能高动能的自由电子。等离子体可分为两类:
  低温等离子体低温等离子体放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为低温等离子体,也叫非平衡态等离子体。
  如果电子的温度和重粒子温度差不多,则为高温等离子体,或平衡态等离子体。
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