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实验室用真空等离子设备

简要描述:

机台型号:PMT-100(实验用机)
整机规格:600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)
真空室规格:200(W)×200(H)×200(D)mm
电极规格:190 ×150×2层
电源系统:1KW等离子体发生源(可选13.56MHz)
控制系统:触摸屏+PLC自动控制
进气系统:2路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 点:高精度,快响应,良


更新时间:2019-12-23

浏览次数:121

产品厂地:深圳市

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机台名称:等离子体表面处理系统

机台型号:PMT100A

机台用途:Ar2或O2或干燥Air等气体通入,不同组合用于不同工艺制造,可用于塑胶工件,金属基工件,陶瓷、玻璃等工件表面改性,表面清洁等工艺

一、技术参数

1、机台整机规格

600(W)×450(H)×550(D)mm

2、真空室规格

进口铝 200(W)×200(H)×250(D)mm

3、电极板规格

专用铝电极 150(L)×120(W)mm

4、真空电极结构

水平电极板 2层

5、真空泵系统

双极机械旋片真空泵

6、PLC自动控制系统硬件

工控可编程控制器及扩展模块(D/A转换、A/D转换)德国西门子

7、人机工控系统

触摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人机工程软件

奥坤鑫科技自主研发

9、真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计,日本ULVAC

10、真空供气系统

Ф6品牌软管

11、真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管

12、破真空系统

电磁阀式/气动阀,日本CKD

13、气体控制系统

电磁阀控制

14、气体计量系统

一路浮子可调流量计

15、等离子发生器

等离子发生器 13.56MHz,OKSUN

16、其他组件

国内外知名品牌元器件

二、技术指标

1、机台总重

约40kg

2、额定功率

额定功率 1KW

3、机台供电

 AC-220V

4、腔体容积

进口铝 200(W)×200(H)×250(D)mm

5、电极板数量

水平电极2层,极板间距:60mm

6、单层处理最大面积

专用铝电极 150(L)×150(W)mm

7、单次处理时间

工艺不同,处理时间不同,表面活化改性2-10分钟内

8、工作真空度

20-60Pa

9、真空泵极限压力

4.0X10-2Pa

10、抽真空时间

≤60秒

11、破真空时间

≤30秒

12、等离子发生器功率

等离子发生器0-500W可调

13、供气方式

电磁阀式

14、流量计调节范围

0.6-6L/m(升/分钟)

15、操作方式

人工取放工件,一键启动自动控制

 

 

 

 

 

 

 

 

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