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卷式真空等离子体处理系统

简要描述:

机台名称: 卷对卷式等离子体处理系统
机台型号:OKSUN-RTR1000L-W600A
处理宽幅: 100mm~600mm(可定制)
真空腔: 1200L(可定制)
电源系统: 2KW~10KW等离子体发生源
控制系统: 触摸屏+PLC自动控制
进气系统: 标配2路工作气体,可扩展至5路工作气
体(Ar2、N2、H2、CF4、O2)


更新时间:2019-12-25

浏览次数:107

产品厂地:深圳市

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设备尺寸:6900(W)×1150(H) ×1650(D) mm

设备总重:≈2500Kg
处理宽幅:520mm(Max)
安装卷径:300mm(Max)
电力需求:380V、3 相、5 线
额定功率:30KVA
等离子电源:20KVA、40KHz
气体输入:4路工艺气体 + 1路压缩空气
工艺气体控制:电磁阀 + MFC控制,0-1000SCCM
工艺气体供给:0.2-0.8MPa,>5L/Min
工艺气体纯度:O2=99.99%;  Ar2=99.99%;

N2=99.99%;  CF4=99.999%;

压缩气体控制:电磁阀
压缩气体需求:除水除油除尘,0.4-0.8MPa
处理速度:0-5m/min(视使用情况而定)

设备组成

机架部分收放卷部分

采用气涨轴承载、收放物料;
采用变频器带动电机控制走料速度;
采用磁流体密封隔绝真空;
采用张力传感器探测张力大小;
采用磁粉离合器控制张力强度;
采用纠偏传感器检测物料位置及偏移量;
采用收卷纠偏一体式系统控制物料整齐度;
收放卷仓分别配置接料平台用于物料接驳;
放卷配置自动撕膜功能;
收卷配置自动覆膜功能。

等离子部分

20KVA,40KHz大功率等离子体电源;
中通冰水等离子体电极。

自动控制部分

欧姆龙PLC控制;
MCGS工业触摸屏操作。

气体控制部分

采用SNS调压阀调节气体压力;
采用CKD电磁阀控制气体通断;
采用Seven Star质量流量控制器控制气体流量。

真空控制部分

采用Han Bell螺杆泵+罗茨泵真空泵组;
采用MKS真空计探测真空度;
采用GD高真空挡板阀控制真空管道通断。

温度控制部分

采用冰水机控制真空腔室温度;
采用模温机控制真空腔室温度。

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