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小型真空等离子处理机

简要描述:

机台名称:真空等离子清洗机
机台型号:OKSUN-PR24L/40L
整机规格:PR24L :650(W)×1240(H)×580(D)mm
PR40L: 750(W)×550(H)×650(D)mm
电极规格:PR24L,6层平板式电极板( 240(W)×270(D)mm)
PR40L,8平板式电极板(330(W)×315(D)
用 途:适用于摄像头及行业,手机制造、半导体IC领域,硅胶


更新时间:2019-12-26

浏览次数:180

产品厂地:深圳市

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技术参数

1、机台整机规格

750(W)×550(H)×650(D)mm

2、真空室规格

进口铝 350(W)×300(H)×400(D)mm

3、电极板规格

专用铝电极 330(W)×315(D)mm

4、真空电极结构

水平电极板 6层

5、真空泵系统

OKSUN机械旋片真空泵/爱德华干式真空泵

6、PLC自动控制系统硬件

工控可编程控制器及扩展模块(D/A转换、A/D转换)德国西门子

7、人机工控系统

触摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人机工程软件

奥坤鑫科技自主研发

9、真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计,日本爱发科

10、真空供气系统

Ф6品牌软管,国产品牌

11、真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管,国产

12破真空系统

电磁阀式,日本

13、气体控制系统

电磁阀控制,日本

14、气体计量系统

精确质量流量控制计:MFC,SevenStar

15、等离子发生器

0-500w连续可调(13.56MHz)、OKSUN

16、其他组件

国内外知名品牌元器件

1、机台总重

约40kg

2、额定功率

额定功率 1KW

3、机台供电

AC-380V

4、腔体容积

进口铝 350(W)×300(H)×400(D)mm

5、电极板数量

水平电极6层

6、单层处理最大面积

330(W)×315(D)mm

7、单次处理时间

工艺不同,处理时间不同,表面活化改性5-10分钟内

8、工作真空度

20-50Pa

9、真空泵极限压力

5.0X10-1Pa

10、抽真空时间

≤60秒(空载测试)

11、破真空时间

<40秒(空载测试)

12、等离子发生器功率

0-500W, 全自动匹配

13、供气方式

电磁阀式

14、流量计调节范围

0-300sccm(毫升/分钟)

15、操作方式

人工取放工件,一键启动自动控制

 

 

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