机台名称：FPC用水平等离子处理机 机台型号：PM13A 整机规格：1900mm（W）×1300mm（D）×1900mm（H） 电极规格：13层平板式电极板（870mm×610mm） 电源系统：10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz） 控制系统：PC工控系统+PLC自动控制 进气系统：2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2