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  • FPC用水平等离子处理机

    机台名称:FPC用水平等离子处理机 机台型号:PM13A 整机规格:1900mm(W)×1300mm(D)×1900mm(H) 电极规格:13层平板式电极板(870mm×610mm) 电源系统:10KW等离子体发生源(40KHz,可选13.56MHz) 控制系统:PC工控系统+PLC自动控制 进气系统:2—5路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2

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